波段極紫外成像光學儀器成像質量測驗設備

要求（專利）號：CN200610163271.4要求日：2006.12.18
揭露（布告）號：CN101169349揭露（布告）日：2008.04.30
主分類號：G01M11/00(2006.01)I范疇分類：
分類號：G01M11/00(2006.01)I；G01M11/02(2006.01)I
要求（專利權）人：中國科學院長春光學精細機械與物理研究所
地址：130031吉林省長春市東南湖大道16號
國省代碼：吉林；22
創造（規劃）人：鞏巖
專利署理組織：長春菁華專利商標署理事務所
署理人：南小平
★ 摘要
   本創造歸于短波段成像光學范疇，詳細的說是一種極紫外成像光學儀器成像質量測驗設備。在本創造中規劃了如圖所表明的檢查設備，全部光學系統均處于真空條件下，極紫外光源1宣布極紫外光束通過精細描寫的金屬柵網7后，打到反射鏡3和4，最終通過待測極紫外成像光學系統5在極紫外相機6上成像，金屬柵網的網格標準與所成的像進行對比，通過核算即可得到待測光學系統的分辨率數據。本創造的有利作用為：供給了一種構造簡略、功能牢靠可以對極紫外成像光學儀器成像質量進行測驗的設備。
★ 主權項
    一種6nm-100nm波段極紫外成像光學儀器成像質量測驗設備，光源(1)發生的平行光通過辨別率板(2)后經反射鏡(3)和(4)，最終通過待檢成像系統(5)在探測器(6)上成像，依據所成印象中辨別率板的線對的明晰程度，通過核算既可得到待檢成像光學系統的分辨率數據，其特征是：所述辨別率板(2)是精細描寫的金屬柵網(7)。